為什么無塵車間/潔凈室一定要用除濕機加濕機
近年,在我們的各行業(yè)里都對空氣的相對濕度有嚴格的規(guī)定,使我們必需在無塵車間配置除濕機、加濕機。但是為什么值得花費這么多錢用在無塵車間、潔凈室中控制相對濕度呢?道理很簡單!讓我們先來了解下什么叫無塵車間:
無塵車間指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
濕度控制是無塵車間生產必需具備的重要條件,相對濕度是無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內,允許誤差在±1%的狹窄的范圍內,例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
因為相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w表現下降的因素,其中包括:
1、細菌生長;
2、工作人員感到室溫舒適的范圍;
3、出現靜電荷;
4、金屬腐蝕;
5、水汽冷凝;
6、光刻的退化;
7、吸水性。
細菌和其他生物污染(霉菌,病毒,真菌,螨蟲)在相對濕度超過60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時,可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。相對濕度在40%至60%的范圍同樣也是人類感覺舒適的適度范圍。濕度過高會使人覺得氣悶,而濕度低于30%則會讓人感覺干燥,皮膚破裂,呼吸道不適以及情感上的不快。
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